该系列设备是晶圆抛光后的专用清洗设备，集成全自动上下料系统、双面PVA刷洗、兆声清洗、甩干&N2吹干等单元，集成度高，湿/干进干出，适用于各种半导体晶圆抛光后的清洗。
| 型号 | TSC-150C | TSC-200C | TSC-200L |
| 清洗工位 | 皮带传送式6工位 | 皮带传送式6工位 | 机械手传送式6工位 |
| 晶圆尺寸 | 3-6英寸 | 6-8英寸 | 6-8英寸 |
| 刷洗工位*2 | 2个PVA刷，双面刷洗 | 2个PVA刷，双面刷洗 | 2个PVA刷，双面刷洗 |
产品特点：
| 清洗工艺 | 刷子类型 | PLC控制系统 | 全自动系统 |
| 预清洗/双面刷洗/漂洗/兆声/吹干/甩干 | PVA 刷 双面刷洗 | 触摸屏操作 | 皮带传动 Cassette in/out 干进干出 |
