科研实力

朗途实验室：

专注于表面界面控制技术研发，重点解决相关基础理论应用问题，搭建超精密平面加工的基础理论研究与关键技术突破的科研体系。

砺晶实验室：

专注于精密加工工艺的研究和开发，重点解决各类半导体材料的不同工艺问题，实现设备+工艺的整体解决方案。