全自动减薄抛光一体机-TGP-3350

全自动减薄抛光一体机-TGP-3350设备适用于8-12英寸晶圆的减薄和抛光，全部采用气浮主轴和气悬浮转台设计，具备自动测厚，集成晶圆校准等功能，全自动上下片，干进干出。