玻璃基板级CMP抛光机：人工将载板放到上下料工作台上，通过上下料工作台将载板放到上抛光盘上，然后进行自动抛光，机台配置摩擦力终点检测，可自动抛光至目标值才停止。TPP-5120晶圆尺寸：515*510mm / 600*600mm抛光头数量:1 个抛光头直径:OD930 mm抛光盘直径:OD1300 mm
