单面抛光机 TAP-500/600 Dual series

单面抛光机：TAP-500/600 Dual series

该系列抛光机是双抛光盘的高精密单面抛光设备，可实现四轴同时加工，设备可依据不同晶圆配置相应抛光头，真空吸附固定晶圆，气囊加压，抛光压头自转并兼具摆动，适用于各种半导体材料的抛光。

TAP-500 Dual

晶圆尺寸：6英寸

抛光盘规格：OD520 mm

抛光盘数量：2个

抛光头数量：4个

TAP-600 Dual

晶圆尺寸：8英寸

抛光盘规格：OD630 mm

抛光盘数量：2个

抛光头数量：4个