单面抛光机：TSP-610/810/910/1270/1500 series
该系列抛光机是以陶瓷盘为载具，通过贴蜡或无蜡吸附方式固定晶圆进行抛光的高精密单面抛光设备，可实现双轴、四轴同时加工，操作简便，兼容性强，稳定性高，抗腐蚀好，抛光头气缸加压主动旋转，可实现高转速高压力抛光，搭配不同抛光垫和抛光液，适用于各种半导体材料的抛光。
TSP-610
抛光盘规格：OD610 mm
陶瓷盘规格：OD240 mm
抛光头数量：2个
TSP-810
抛光盘规格：OD1810 mm
陶瓷盘规格：OD305 mm
抛光头数量：4个
TSP-910
抛光盘规格：OD914 mm
陶瓷盘规格：OD360 mm
抛光头数量：4个
TSP-1270
抛光盘规格：OD1270 mm
陶瓷盘规格：OD485 mm
抛光头数量：4个
TSP-1500
抛光盘规格：OD1450 mm
陶瓷盘规格：OD576 mm
抛光头数量：4个
