单面抛光机：TAP-400/450/500/600 series
该系列抛光机是双轴高精密单面抛光设备，设备可依据不同晶圆配置相应抛光头，真空吸附固定晶圆，气囊加压，抛光压头自转并兼具摆动功能，适用于各种半导体材料的抛光。
TAP-400
抛光盘规格：OD400 mm
抛光头数量：2个
抛光头摆动：摆幅摆速可调
TAP-450
抛光盘规格：OD450 mm
抛光头数量：2个
抛光头摆动：摆幅摆速可调
TAP-500
抛光盘规格：OD520 mm
抛光头数量：2个
抛光头摆动：摆幅摆速可调
TAP-600
抛光盘规格：OD630 mm
抛光头数量：2个
抛光头摆动：摆幅摆速可调
TAP-600
抛光盘规格：OD630 mm
抛光头数量：2个
抛光头摆动：摆幅摆速可调
